大口径石英管

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低压扩散的工艺优势

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低压扩散的工艺优势

发布日期:2020-09-16 作者: 点击:

低压扩散石英管的这种制成工艺有什么优势呢?

低压扩散的优势:

常压扩散炉通常采用管口或管尾进气,通过大氮气流将磷源带到另一端,易造成一端磷源浓度高、另一端浓度低的现象,而且常压下气体分子自由程较小,各区域硅片接触磷源几率差距较大,只能通过调节温度控制方块电阻值,无法保证片内及片间均匀性。

低压扩散石英管

低压扩散在扩散炉工作腔内使用负压环境,气体分子自由程变大,可以提高扩散炉管内气流的均匀性,避免湍流产生,从而提高扩散的均匀性,为晶硅太阳电池效率进一步提升奠定了基础。由于扩散方阻均匀性的提高,装片石英舟槽间距设计可降为标准值的一半左右,这样可以在设备体积不变的情况下将产能提高1倍。此外,低压扩散过程中化学品的利用效率提高,工艺过程中化学品的用量大幅降低,节省成本。

低压扩散工艺优化实验:

工艺温度优化

在低压环境下,扩散源的分子自由程增长,扩散源的占比增大,低压扩散中磷原子沉积于硅片表面的速率远快于常压扩散。这样容易引起磷原子集中于硅片浅表面,如果高温低压推进过程不能将这些磷原子推进至合适深度,就会使硅片浅表面磷浓度过大,引起硅片浅表面电子空穴对复合过快,进而影响太阳电池光电转换效率。优化扩散工艺中的高温推进温度和时间显得尤为重要。

低压扩散石英管

方阻的测试方法:每管选取3片硅片分别为炉口一片,炉中一片,炉尾一片;每片选5个测试点,中心、右上、右下、左下、左上5点位置。片内不均匀性的计算方法为:片内不均匀性=(最大值-最小值)/(最大值+最小值)。

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