低压扩散的工艺优势

发布日期：2020-09-16 作者：点击：

低压扩散石英管的这种制成工艺有什么优势呢？

低压扩散的优势：

常压扩散炉通常采用管口或管尾进气，通过大氮气流将磷源带到另一端，易造成一端磷源浓度高、另一端浓度低的现象，而且常压下气体分子自由程较小，各区域硅片接触磷源几率差距较大，只能通过调节温度控制方块电阻值，无法保证片内及片间均匀性。

低压扩散石英管

低压扩散在扩散炉工作腔内使用负压环境，气体分子自由程变大，可以提高扩散炉管内气流的均匀性，避免湍流产生，从而提高扩散的均匀性，为晶硅太阳电池效率进一步提升奠定了基础。由于扩散方阻均匀性的提高，装片石英舟槽间距设计可降为标准值的一半左右，这样可以在设备体积不变的情况下将产能提高1倍。此外，低压扩散过程中化学品的利用效率提高，工艺过程中化学品的用量大幅降低，节省成本。

低压扩散工艺优化实验：

工艺温度优化

在低压环境下，扩散源的分子自由程增长，扩散源的占比增大，低压扩散中磷原子沉积于硅片表面的速率远快于常压扩散。这样容易引起磷原子集中于硅片浅表面，如果高温低压推进过程不能将这些磷原子推进至合适深度，就会使硅片浅表面磷浓度过大，引起硅片浅表面电子空穴对复合过快，进而影响太阳电池光电转换效率。优化扩散工艺中的高温推进温度和时间显得尤为重要。

低压扩散石英管

方阻的测试方法：每管选取3片硅片分别为炉口一片，炉中一片，炉尾一片；每片选5个测试点，中心、右上、右下、左下、左上5点位置。片内不均匀性的计算方法为：片内不均匀性=（Z大值-Z小值）/（Z大值+Z小值）。

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