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低压扩散石英管的这种制成工艺有什么优势呢?低压扩散的优势:常压扩散炉通常采用管口或管尾进气,通过大氮气流将磷源带到另一端,易造成一端磷源浓度高、另一端浓度低的现象,而且常压下气体分子自由程较小,各区域硅片接触磷源几率差距较大,只能通过调节温
发布时间:2020-09-16 点击次数:295
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可能大家对于低压扩散石英管并不是很了解,下面就和小编一起来探讨一下什么是低压扩散的工艺手法。管式炉特别是卧式扩散炉是光伏与半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,广泛适用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、太阳能电池、光电器件和光导纤维等
发布时间:2020-05-21 点击次数:319
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低压扩散石英管一般会在管式炉中用到。管式炉特别是卧式扩散炉是光伏与半导体生产线前工序的重要工艺设备之-,广泛适用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、太阳能电池、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英
发布时间:2019-11-14 点击次数:227